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“智慧体检”排查屋顶光伏站隐患
2026-06-05 09:41:43
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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
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《孤岛惊魂：新曙光》离发售还有不到一个月时间，作为《孤岛惊魂5》的剧情续作，本体游戏日前已经开发完毕。这款即将到来的开放世界射击游戏的技术总监Raphaël Parent在Twitter上宣布游戏已经送厂压盘。
育碧最近曾解释说《孤岛惊魂：新曙光》将有轻量RPG机制，为游戏带来更多深度。在游戏中玩家可以打造有等级的枪械，枪械的等级有利于对抗同样有等级的敌人。
在一场全球化的核灾难发生17年之后，《孤岛惊魂：新曙光》将玩家们来到野性壮美、彻底改变的希望郡蒙大拿州。生命从混沌之中孕育而生，但幸存者们正面临新的威胁——无情的“拦路强盗”和他们的双胞胎头领米琪和露。在法外之地长大的这对双胞胎姐妹和手下的爪牙只为活在当下，他们席卷希望郡以夺取所有可用的资源。为了抵抗这个毁灭性的威胁，玩家必须帮助幸存者们发展壮大，打造临时军备，联合不期而遇的盟友在全新的疆界为生存而战。
在基地中，玩家将准备面对来自”拦路强盗”的威胁。游戏中被称为“繁荣镇” 的基地是幸存者们的据点。在这里，玩家能够打造临时武器以及载具，并在此训练反抗势力（Guns for Hire），其中不乏新人和老面孔。随着游戏进程的深入，玩家能够升级基地来解锁更强力的武器和装备。作为《孤岛惊魂》首次使用的游戏设定，冒险将不仅仅局限于此，基地还能进行“远征”。跨越美国各处的难忘之地，从湿地到峡谷，“远征”将把玩家带到独特的地点，而玩家必须尽可能地搜刮有价值的材料并尽快离开。
《孤岛惊魂：新曙光》简体中文版将于2019年2月15日发售，登陆PS4、Xbox One以及PC平台。
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《孤岛惊魂：新曙光》2月中旬发售进入压盘阶段
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- 作者：叮当猫
3月11日讯由于目前中东地区的局势，伊朗或将无法参加今夏举行的美加墨世界杯。在参加Talksport的连线采访时，现任伊拉克教练组成员，助教穆伦斯汀谈到了目前有关伊拉克队的最新情况。
穆伦斯汀表示：“在亚足联中，我们是排名最高的球队。那么我们就可以取代伊朗的位置（如果他们退出）。然后阿联酋可能会取代我们，与苏里南和玻利维亚之间的胜者进行比赛。
“但也有传言说，如果FIFA做出最终决定，他们可能会让（附加赛中）FIFA排名最高的球队取代伊朗，也就是意大利。你可以想一想，他们更希望谁参加世界杯？”
同时，穆伦斯汀也呼吁FIFA能够允许附加赛赛程推迟以便伊拉克能够参与。
穆伦斯汀：“（无法正常参加附加赛）我不会称之为灾难，因为真正的灾难是目前中东遭遇的情况。但这对于等待了39年的伊拉克人民来说，将是一个巨大的、巨大的失望。就我们目前的状况、团队以及我们所经历的一切而言，这本身就是一个奇迹。
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空气里，满是香甜的味道，糖人、糖画、棉花糖，一样样甜蜜蜜，那是迎接母亲节的味道。
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图说：“妈妈集市”吸引了许多市民游客记者周馨/摄（下同）
一早，参与义卖的摊位就纷纷到场了。爱心商家们纷纷拿出招牌热卖商品，文创产品、精美首饰、非遗扇子灯笼、绒线花艺术品……还有，来自巾帼文明岗—黄浦香山中医医院团总支的中药扎染，看得人眼花缭乱，低廉的价格、优良的品质，吸引市民游客纷纷解囊，活动现场暖意涌动。
公益互动区，吹糖人、糖画、棉花糖等非遗项目，引来市民游客驻足观看，这可是“妈妈集市”最受小朋友们喜爱的保留节目。
糖锅里，麦芽糖和冰糖一点点融化，金黄色的糖稀香甜浓稠，80后王晓凤和85后王磊是姐弟俩，也都是吹糖人非遗项目传承人，现场展示了吹糖人技艺。挑起糖稀，轻轻吹一吹捏一捏，一只小海豚！再吹一个，宝葫芦！还要一个，哇，小朋友们最喜欢的小兔子！
精湛技艺，看得市民游客纷纷喝彩，甜蜜蜜的糖人糖画带回家，就当“母亲节”的礼物献给妈妈！
“一个亮点是，今年的‘妈妈集市’既有爱心商户参与，又联动了黄浦区历届三八红旗手、巾帼建功标兵等先进女性。”黄浦区妇联主席王艳说。“妈妈集市”丰富义卖商品，扩大爱心半径，凝聚起更多“她”力量。今天，“妈妈集市”还推出了“黄浦妈妈讲故事”的项目，上海和普洱两地帮扶结对，为普洱留守儿童带去母爱的温暖和故事的陪伴。
“红五月·梦豫园”主题活动始于2016年。“多年来，广大爱心商户不改公益初心，延续爱心传统，定向资助社区困难妇女和儿童，已累计向40名困难妇女（儿童）发放帮扶款3万元，为母亲节和国际家庭日增添了温馨与感动。”豫园街道党工委书记邵泉说。“妈妈集市”是豫园商圈党建联建的生动实践，吸引来自全国和世界各地的游客，努力成为申城家庭文明、妇女儿童友好的展示窗口。
记者姚丽萍
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新民特写｜“妈妈集市”，空气中都是香甜的味道
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